Hearth liner

ハースライナー

【用途】
電子ビーム蒸着では、蒸着原料をハースライナー(坩堝)に入れ、電子ビームによって蒸着します。ハース内の汚染防止や蒸着の効率化にご利用頂けます。

【仕様】

材質 Material Cu,W,Mo,Ta etc. 原料の性質により、はい上がりや合金ができる場合がございます。ご確認をお願いいたします。
寸法 Dimension 下図をご参照いただき、ご希望の寸法をご指定ください

hearthliner1     hearthliner2

 

ヒーターボート、バスケットヒーター

【用途】
抵抗加熱用の蒸着原料入れとしてご利用頂けます。

【仕様】

材質 Material Cu,W,Mo,Ta etc. 原料の性質により、はい上がりや合金ができる場合がございます。ご確認をお願いいたします。
寸法 Dimension 下図をご参照いただき、ご希望の寸法をご指定ください

 

ヒーターボート  コイルhearthliner3